應材為顯示器產業 開發電子束檢視系統

工商時報【袁顥庭╱台北報導】

應用材料新推出顯示器產業首台可於生產線上使用的高解析度電子束檢視(EBR) 系統,讓面板廠能更迅速達成OLED與UHD LCD產品的最佳化良率,為顯示器產業注入新活力。應材的EBR系統已接獲世界前10大顯示器製造商中6家的訂單,且訂單需求持續增加中。

應材將原來運用在半導體元件檢視的先進掃描式電子顯微鏡技術,進一步結合在大尺寸顯示器的真空系統平台上,成為生產線上使用的EBR技術,以最快速有效的方式,在製造先進行動裝置與電視顯示器時,發現與分析造成良率損失缺陷的原因。

應材資深副總裁暨顯示器及相關聯產業市場事業群及全球服務事業群總經理阿里•沙勒普爾(Ali Salehpour)表示,EBR系統能協助客戶解決OLED與LCD面板製造的嚴峻挑戰。結合應用材料公司獨特的兩項技術半導體良率優化技術以及面板級掃描電子顯微鏡SEM技術,不但能開拓潛在市場,還能幫助客戶避開優化良率過程上高成本的耗損。

中國天馬微電子集團副總裁馬駿表示,天馬與應材的合作關係,有助於天馬發展新技術,生產符合消費者需求的高品質、高效能行動裝置顯示器。

應材的EBR系統能縮短天馬公司武漢廠從建廠到量產的時間,加速將更先進的顯示器技術迅速導入市場。